鑫立離子源廠家推薦離子源分類：

Kaufman離子源

Kaufman離子源是一種較早的離子源，屬于網(wǎng)格型離子源。首先，從熱陰極發(fā)射的電子被加速通過陰極護套，以獲得與等離子體和陰極之間的電勢差相對應(yīng)的能量。它們與進入電離室的氣體原子發(fā)生碰撞，并且氣體原子通過碰撞而被電離，從而形成離子和二次電子。電子和離子在放電室中形成等離子體。在發(fā)散磁場的作用下，放電等離子體被引導至柵極離子光學活性區(qū)域。由于離子光學的作用，離子被提取并形成離子。由每個小孔形成的離子束被發(fā)散，混合和中和，從而形成具有能量和中性的寬離子束。由離子獲得的能量應(yīng)該是陽極電壓和屏蔽電壓的總和（通常來說，由于陽極電壓遠小于屏蔽電壓，因此屏蔽電壓近似視為離子加速能量）。

微波ECR離子源

微波電子回旋共振（ECR）離子源是一種無陰極源，具有高電離，高束強度，低壓和性能穩(wěn)定的特色。它是一種高密度低壓等離子體源，可以在低壓力下運行。在大氣壓下生成大面積均勻的高密度等離子體。

微波ECR等離子體源裝置由微波源和傳輸波導，放電室，工作室，真空系統(tǒng)和氣體分配系統(tǒng)組成。微波源的頻率為2.45GHz，功率可以在0-400w之間連續(xù)調(diào)節(jié)。產(chǎn)生的微波通過耦合波導，環(huán)行器，定向耦合器，阻抗匹配器和直波導輸入放電室。放電室是高密度等離子體的區(qū)域。排放室是一個不銹鋼圓形腔。一端連接到微波輸入波導，這稱為微波窗口。為了保持真空，用絕緣陶瓷板密封微波窗，另一端連接到工作室。在放電室的外部，使用同軸線圈或永磁體的組合形成磁鏡場和發(fā)散場，以提供電子回旋共振場并限制等離子體的運動和擴散。在放電室中，電子在垂直磁場的平面上受到洛倫茲力的作用，從而使回旋加速器運動。

射頻（RF）離子源

在射頻離子源中，氣體通過專門設(shè)計的氣壓絕緣體進入石英放電室。通過由LC組成的人工傳輸線將13.56MHz的射頻功率感應(yīng)到放電室中，并產(chǎn)生渦旋圓周電場。電場可用于電離工作氣體。采用三柵離子光學系統(tǒng)。離子光學系統(tǒng)中有許多小孔。屏幕柵可以吸收放電電子作為放電室中的陽極，從而形成放電電路。屏幕上有許多小孔。由于屏幕的小孔處的電場，在放電等離子體的邊界處形成等離子體雙鞘。離子通過彎月面護套發(fā)射電子，并通過離子光學系統(tǒng)的聚焦而加速以形成離子束。離子束還必須通過中和器強制中和。除了中和作用外，中和器還可以可靠地提供低壓離子源的點火和電弧。