文章摘要: 壓力傳感器基于壓阻效應(yīng)原理,采用摻雜和擴(kuò)散的集成工藝技術(shù),并結(jié)合單晶硅晶片上的特征晶體方向,產(chǎn)生抗應(yīng)變性,構(gòu)成惠斯凳電橋。1.壓力傳感器適合制作小量程的傳感器這種硅芯片的力敏電阻器的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低范圍部分沒(méi)有死區(qū),并且壓力傳感器的范圍
壓力傳感器基于壓阻效應(yīng)原理,采用摻雜和擴(kuò)散的集成工藝技術(shù),并結(jié)合單晶硅晶片上的特征晶體方向,產(chǎn)生抗應(yīng)變性,構(gòu)成惠斯凳電橋。
1.壓力傳感器適合制作小量程的傳感器
這種硅芯片的力敏電阻器的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低范圍部分沒(méi)有死區(qū),并且壓力傳感器的范圍可以小到幾Kpa。
2.高輸出靈敏度
硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50~100倍,故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求,使用比較方便。
3.壓力傳感器精度高
因?yàn)閭鞲衅鞯母兄?,敏感的轉(zhuǎn)換和檢測(cè)是由同一組件實(shí)現(xiàn)的,所以沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換鏈接,并且重復(fù)性和滯后偏差很小。由于單晶硅的高剛性,其變形非常小,確保了良好的線性。
4.由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí),彈性芯片很大的位移在亞微米數(shù)量級(jí),因而無(wú)磨損,無(wú)疲勞,無(wú)老化,壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán),性能穩(wěn)定,可靠性高。
5.由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能,即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器,也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
6.壓力傳感器由于芯片采用集成工藝,又無(wú)傳動(dòng)部件,因此體積小,重量輕。
以上就是壓力傳感器廠家介紹關(guān)于擴(kuò)散硅壓力傳感器的特色,希望您可以了解。
壓力傳感器:壓力傳感器的特色有哪些?
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