智能傳感器硅片激光鉆孔微小孔來圖定制
200元2022-11-18 08:17:01
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產(chǎn)地 | 北京 | 分類 | 硅片切割 |
切割加工最小縫隙 | 0.05mm | 加工厚度范圍 | 0.1--2mm |
加工方式 | 激光切割 | 品牌 | HE |
微信號 | 13011886131 | 服務(wù)范圍 | 全國 |
硅片大小加工范圍 | 300mm | 聯(lián)系人 | 張經(jīng)理 |
智能傳感器硅片激光鉆孔微小孔來圖定制
硅片切割機又名硅片激光切割機,激光劃片機。是激光劃片機在 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領(lǐng)域的應(yīng)用。激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片


硅片激光加工設(shè)備的應(yīng)用:
激光劃片機主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細(xì)美觀,切邊光滑。采用連續(xù)泵浦聲光調(diào)Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,由計算機控制二維工作臺,能按輸入的圖形做各種運動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進(jìn)行曲線及直線圖形切割。


激光切割于傳統(tǒng)機械切割硅片相比,是一種行的加工方式,有一下幾點加工優(yōu)勢:
1、激光加工一步即可完成的、干燥對的加工過程。
2、邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。
3、激光加工的分離過程產(chǎn)生高強度、自然回火的邊緣,沒有微小裂痕。使用激光加工避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破,提高了成品率。


激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機械應(yīng)力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點,聚焦點可小到微米數(shù)量級,從而對晶圓的微處理更具有優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實現(xiàn)切割的目的因為光斑點較小,最低限度的炭化影響。


激光切割技術(shù)集光學(xué)、精密機械、電子技術(shù)和計算機技術(shù)于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術(shù)可以應(yīng)用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導(dǎo)體材料。


晶圓(Wafer)是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。晶圓是生產(chǎn)集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶硅圓片。
晶圓是最常用的半導(dǎo)體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格,近來發(fā)展出12英寸甚至研發(fā)更大規(guī)格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。
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