深圳集成電路硅片切盲槽微小孔加工
200元2022-12-06 08:00:58
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產地 | 北京 | 分類 | 硅片切割 |
切割加工最小縫隙 | 0.05mm | 加工厚度范圍 | 0.1--2mm |
加工方式 | 激光切割 | 品牌 | HE |
微信號 | 13011886131 | 服務范圍 | 全國 |
硅片大小加工范圍 | 300mm | 聯(lián)系人 | 張經理 |
深圳集成電路硅片切盲槽微小孔加工
硅片切割機又名硅片激光切割機,激光劃片機。是激光劃片機在 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領域的應用。激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。因激光是經專用光學系統(tǒng)聚焦后成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片


硅片激光切割設備的特點:
·高配置:采用進口光纖激光器,光束質量更好(標準基模)、切縫更細(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護:整機采用國際標準模塊化設計,真正免維護、不間斷連續(xù)運行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設備集成風冷設置,設備體積更小,操作更簡單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機而設計的控制軟件,操作簡單,能實時顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型臺雙工位交替運行,提高工作效率。


硅片激光加工設備的應用:
激光劃片機主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細美觀,切邊光滑。采用連續(xù)泵浦聲光調Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,由計算機控制二維工作臺,能按輸入的圖形做各種運動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進行曲線及直線圖形切割。


激光加工的應用
激光加工技術應用廣泛,且在很多行業(yè)都已經很成熟,比如航空航天、新能源鋰電、光伏太陽能、顯示與半導體、PCB行業(yè)、電子信息行業(yè)、機械五金行業(yè)、家電廚衛(wèi)行業(yè)、鈑金加工行業(yè)、包裝行業(yè),以及電子煙行業(yè)等領域,對于提高勞動生產率、提高產品質量、實現(xiàn)自動化生產、保護環(huán)境、減少材料資源消耗、降低生產成本等起著十分重要的作用。


激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點,聚焦點可小到微米數量級,從而對晶圓的微處理更具有優(yōu)越性,可以進行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進行材料加工。大多數材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實現(xiàn)切割的目的因為光斑點較小,最低限度的炭化影響。


激光切割技術集光學、精密機械、電子技術和計算機技術于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術可以應用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導體材料。
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